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风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药等行业。
●使用环境
‧周围温度:5℃~40℃
‧湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
‧周围空气:一般室内空气
‧清净度:100-10级